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old_rates_atc

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old_rates_atc [2013/01/21 08:08] – timold_rates_atc [2013/09/12 09:17] (current) – boltje
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 | Cr [1]   | 20111001  | Cr-cal        |  2 mTorr, 100 mA, 10 min                  | X-ray          | 20.1 nm    | 2.01 nm/min  | | Cr [1]   | 20111001  | Cr-cal        |  2 mTorr, 100 mA, 10 min                  | X-ray          | 20.1 nm    | 2.01 nm/min  |
 | Cr [1]*  | 20111013  | Cr-cal        |  2 mTorr, 100 mA, 10 min                  | X-ray          | 18.8 nm    | 1.88 nm/min  | | Cr [1]*  | 20111013  | Cr-cal        |  2 mTorr, 100 mA, 10 min                  | X-ray          | 18.8 nm    | 1.88 nm/min  |
 +| Cr     | 20130118  | Cr_cal   | 2 mTorr, 100 mA, 15 min                   | X-ray          | 22.4 nm | 1.493 nm/min   |
 | Cu       | 20111104  | Cu-cal        |  5 mTorr, 100 mA, 10 min                  | X-ray          | 41.4 nm    | 4.14 nm/min  | | Cu       | 20111104  | Cu-cal        |  5 mTorr, 100 mA, 10 min                  | X-ray          | 41.4 nm    | 4.14 nm/min  |
 | Cu       | 20120320  | Cu-cal        |  5 mTorr, 100 mA, 10 min                  | X-ray          | 39.9 nm    | 3.99 nm/min  | | Cu       | 20120320  | Cu-cal        |  5 mTorr, 100 mA, 10 min                  | X-ray          | 39.9 nm    | 3.99 nm/min  |
 | Cu       | 20120417  | Cu-cal        |  5 mTorr,  50 mA, 10 min                  | X-ray          | 17.9 nm    | 1.79 nm/min  | | Cu       | 20120417  | Cu-cal        |  5 mTorr,  50 mA, 10 min                  | X-ray          | 17.9 nm    | 1.79 nm/min  |
 | Cu       | 20120523  | Cu-cal-atc    |  5 mTorr,  50 mA, 15 min                  | X-ray          | 27.3 nm    | 1.82 nm/min  | | Cu       | 20120523  | Cu-cal-atc    |  5 mTorr,  50 mA, 15 min                  | X-ray          | 27.3 nm    | 1.82 nm/min  |
 +| Cu       | 20130118  | Cu_cal        | 5 mTorr,  50 mA, 15 min                   | X-ray          | 22.7 nm    | 1.135 nm/min   |
 | Co       | 20120320  | Co-cal-50mA   |  5 mTorr,  50 mA, 10 min                  | X-ray          |  9.3 nm    | 0.93 nm/min  | | Co       | 20120320  | Co-cal-50mA   |  5 mTorr,  50 mA, 10 min                  | X-ray          |  9.3 nm    | 0.93 nm/min  |
 | Co       | 20120320  | Co-cal-100mA  |  5 mTorr, 100 mA, 10 min                  | X-ray          | 20.4 nm    | 2.04 nm/min  | | Co       | 20120320  | Co-cal-100mA  |  5 mTorr, 100 mA, 10 min                  | X-ray          | 20.4 nm    | 2.04 nm/min  |
Line 32: Line 34:
 | Co       | 20120801  | Co-cal-190mA  |  5 mTorr, 190 mA, 15 min                  | X-ray          | 22.5 nm    | 1.50 nm/min  | | Co       | 20120801  | Co-cal-190mA  |  5 mTorr, 190 mA, 15 min                  | X-ray          | 22.5 nm    | 1.50 nm/min  |
 | Co       | 20121018  | Co_cal        | 5 mTorr, 100 mA, 15 min                   | X-ray          | 12.0 nm    | 0.8 nm/min   | | Co       | 20121018  | Co_cal        | 5 mTorr, 100 mA, 15 min                   | X-ray          | 12.0 nm    | 0.8 nm/min   |
 +| Co     | 20130118  | Co_cal   | 5 mTorr, 150 mA, 20 min                   | X-ray          | 26.2 nm | 1.747 nm/min   |
 | Fe       | 20070405  | 040507b       | 10 mTorr, 100 mA, 30 min                  | X-ray          | 45.2 nm    | 1.51 nm/min  | | Fe       | 20070405  | 040507b       | 10 mTorr, 100 mA, 30 min                  | X-ray          | 45.2 nm    | 1.51 nm/min  |
 | Ge       | 20090401  | Ge 10 min     | 10 mTorr, 100 mA, 10 min                  | X-ray          | 26 nm      | 2.64 nm/min  | | Ge       | 20090401  | Ge 10 min     | 10 mTorr, 100 mA, 10 min                  | X-ray          | 26 nm      | 2.64 nm/min  |
Line 39: Line 42:
 | Nb       | 20121018  | Nb_cal        | 5 mTorr,  50 mA, 15 min                   | X-ray          | 31.0 nm    | 2.07 nm/min   | | Nb       | 20121018  | Nb_cal        | 5 mTorr,  50 mA, 15 min                   | X-ray          | 31.0 nm    | 2.07 nm/min   |
 | Pt       | 20121018  | Pt_cal        | 5 mTorr,  50 mA, 15 min                   | X-ray          | 8.6 nm     | 0.57 nm/min   | | Pt       | 20121018  | Pt_cal        | 5 mTorr,  50 mA, 15 min                   | X-ray          | 8.6 nm     | 0.57 nm/min   |
 +| Py     | 20130603  | Py_cal   | 5 mTorr, 150 mA, 30 min                   | X-ray          | 58.8 nm | 1.96  nm/min   |
 +| Py     | 20130605  | Py_cal   | 2 mTorr, 250 mA, 6 min + 8 sec            | X-ray          | 27.9 nm | 4.549 nm/min   |
 +| Sm     | 20130118  | Sm_cal   | 5 mTorr,  50 mA, 15 min                   | X-ray          | 14.8 nm | 0.987 nm/min   |
 | Sm       | 20120319  | Sm_cal        |  5 mTorr, 100 mA, 10 min                  | X-ray          | 49.9 nm    | 4.99 nm/min | | Sm       | 20120319  | Sm_cal        |  5 mTorr, 100 mA, 10 min                  | X-ray          | 49.9 nm    | 4.99 nm/min |
 | Sm       | 20120413  | Sm_cal_50mA   |  5 mTorr,  50 mA, 10 min                  | X-ray          | 26.6 nm    | 2.66 nm/min | | Sm       | 20120413  | Sm_cal_50mA   |  5 mTorr,  50 mA, 10 min                  | X-ray          | 26.6 nm    | 2.66 nm/min |
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 [2] New target oktober 2011 [2] New target oktober 2011
 [3] add steel spacers in magnet configuration [3] add steel spacers in magnet configuration
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old_rates_atc.1358755716.txt.gz · Last modified: 2013/01/21 08:08 by tim
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